氧是地球上最丰富的元素之一,与人类活动密切相关,很多领域涉及到氧气测量,如环境监测、有氧医疗、家用电器、生物工程、工业过程、能源管理、安全监测和科学研究等.最早的氧敏传感器是ZrO2电解质氧敏传感器,在1977年由日本丰田汽车公司应用于汽车尾气中的有害气体监测,但由于其存在着烧结温度高、结构复杂、贵金属催化剂易失效,价格昂贵等缺陷,限制了它的发展.以TiO2为代表的半导体型氧敏传感器,以灵敏度高、结构简单、价廉、易集成化等优点,逐渐占据了氧敏传感器的市场,1982年TiO2厚膜型氧敏传感器首先由日本特种陶业公司开发成功,并部分替代ZrO2电解质氧敏传感器,应用于汽车尾气的监测.

作 者：

张毅 孙以材 潘国峰  

作者单位：

河北工业大学微电子所 

刊 名：

电气时代 

英文刊名：

ELECTRIC AGE 

年，卷(期)：

2004 (9) 

基金项目：